ted pella离子溅射仪108 Auto SE

Ted Pella 108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

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产品详情

Ted Pella 108 Auto SE是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统,特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。

主要特性

  • 自动的换气与泄气功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的导电喷镀效果。

  • 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程,避免样品表面受损。

  • 操作容易快捷,可全自动或手动进行喷镀操作,控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

  • 在自动模式下,可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果,

  • 通过使用高分辨膜厚控制仪(选件)在达到设定膜厚时停止喷镀过程。

  • 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。


  • 可使用多种金属靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶为标配),靶材更换快速方便。

108 Auto/SE Sputter Coater

Prod # Description Unit
7009 108 Auto/SE Sputter Coater V2, 115VAC* each
7009-220 108 Auto/SE Sputter Coater V2, 220VAC* each
* The 108 Auto SE Sputter Coater includes: 7021 Specimen Mount Stage for 12 pin mounts; 150mm dia. Chamber; Manual Target Shutter; and Operating Instructions.




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