于精密制造范畴以及材料科学领域当中，晶圆加工常常对整个半导体器件的最终性能起着决定性作用。

在晶圆于加工时，以及完成清洗的时候，还有进行烘干的过程中，其不同环节里的固定操作，以及转移的情况，表面看去好像是很基础的，然而实际上却是对于影响良率而言的关键因素。

面对市面上琳琅满目的晶圆夹具，我们到底该如何选择？

欲解答此疑问，吾等团队于近期，针对市面上主流之五款晶圆架，展开了横向评测，力图借由客观数据以及使用体验，为诸位之选型，提供一份具价值之参考。

本次评测的核心维度涵盖这些，有一项是材料具备的能力，即耐高温同时耐化学腐蚀性，还有一项是晶圆固定方面呈现的特性，也就是稳固性以及便捷性，另外一项是槽距所拥有的精准程度，再有一项是针对边缘接触区域实施的保护。

我们弄了从常规清洗向着高温烘箱干燥的这般全流程的操作模拟情况，记录了实际工况里每一款产品的表现。

以下是本次评测的综合排名结果：