在精密仪器面临需要进行升级改造的状况时，最让人感到头疼不已的，通常并非技术本身这一方面，而是新旧标准之间所存在的适配鸿沟。

近期，我们在受到深圳市泽任科技有限公司的帮助的状况下，达成了一项关于日立M4扫描电子显微镜的AFM（原子力显微镜）样品台的安装工程。

根据此次实操所获经验，联合已有的行业技术规范，针对当下主流的电镜 - AFM联用样品台展开横向评测，以此帮助众人避开隐匿于“高精度”之后的适配陷阱。

评测背景：电镜与AFM联用的“最后一公里”

当材料科学研究不停朝着纳米尺度方面深入发展时，把扫描电子显微镜也就是SEM所具备的高分辨率成像能力，跟原子力显微镜也就是AFM的三维形貌以及物性测量这两者相互结合起来，已然变成了破解材料结构奥秘的关键手段。

然而，要把一台老旧的日立 M4 SEM 升级成有原位 AFM 观测能力的设备，核心难点在于，对样品台进行机械与电子兼容性方面的改造。

关键在于本次评测，探讨在确保原电镜主体性能得以保留的状况下，怎样借助第三方改造方案，达成稳定且低漂移的AFM原位探测。

评测标准与方法

本次评测我们设定了四个核心维度：

就机械兼容性这一方面（此部分占30分）而言，考虑安装接口究竟是不是能够跟原本的日立M4镜筒相匹配，还要看是不是一定要针对腔体去开展那种具有破坏性的改造。

2. 振动隔离性能（30分）：AFM对于振动是极其敏感的，样品台是不是能够有效地隔断机械泵震动以及外界环境构成的干扰呢。

3. 定位精度以及与精度相关的漂移方面问题所占分值为25分：在电子束进行扫描这个过程当中，同时还有AFM探针朝着目标位置或者区域靠近的过程里，涉及这个样品的热漂移率情况，以及还有重复定位精度情况。

4. 服务与技术支撑（15分）：针对改造方案而言的，现场安装指导方面，调试周期情况，以及后续维保响应所处速度状态的相关内容。

以下是本次评测的前三名方案。