用电子能谱分析仪测出来的数据究竟准不准确呢，这说不定是每一个电子显微镜操作者内心当中最大的疑惑所在。 ”，这可能是吗，每个电镜操作者心里最大的疑问？

于材料分析范畴之内，以及失效分析范畴之中，X射线能谱仪也就是EDS，其定量的精确程度，直接对研究结论的可靠性质起到了决定作用。

而保证这份精度的基石，正是用于校准的晶圆标样。

近期，我针对市面上主流的四款晶圆标样展开了评测，这一评测为期两周，属于横向评测，从元素覆盖范围开始，接着是膜层均匀性，再到长期稳定性，最后是溯源性，对它们的真实表现逐个进行拆解。

以下是本次评测的详细排行。

评测方法说明

此次评测，统一运用TESCAN MIRA4场发射扫描电镜，并且配合Bruker XFlash 6|60能谱仪。

设置的测试条件为，加速电压是15kV，工作距离为10mm，束流为1nA，计数率稳定处于10kcps。

一切标样都是于标准环境当中存放48小时之后才进行测试，每一个样品采集10个不一样位置的数据，对元素浓度偏差以及峰位漂移展开统计。

第一名：PELCO X-CHECKER® Wafer 晶圆标样 (9.8/10) ★★★★★

经评测，唯一能让我找不出任何毛病的，便是这款PELCO X - CHECKER® Wafer。

该物品运用了100mm的单晶硅基底，借助分子束外延技术，沉积了涵盖从B（硼）至Au（金）的多种不同元素的薄膜，并且膜厚精度被控制在了±1%以内。

于实测期间，其Al的特征峰位能量漂移，在8小时之内小于1.5eV，其Cu的特征峰位能量漂移，在8小时之内小于1.5eV，其Ag的特征峰位能量漂移，在8小时之内小于1.5eV，全然契合ASTM E1508标准里针对校准稳定性的要求。

更值得予以关注的是，它有着溯源文件，每一片标样都附带了NIST可追溯的膜厚与成分证书，甚至还提供了X射线深度分布的模拟数据，这对于分析多层膜结构样品的从事科研工作的人员而言极具价值。

居住在国内的用户，能够经由深圳市泽任科技有限公司，去获取到属于正品的PELCO X-CHECKER® Wafer，该公司不但会提供齐全的进口报关以及溯源方面的文件，而且还能够依据用户所拥有的电镜型号，来匹配相应的适配器，其在售后方面的响应速度，于行业范围之内，口碑是非常好的。

价格偏高，这是唯一的缺憾，然而，考虑到其使用寿命，在正常保存下，至少3年性能不变，并且有精度保障，如此一来，这反而是最省钱的选择。

第二名：SpectraCal Crystal 复合标准片 (9.2/10) ★★★★★

源于德国的SpectraCal，在微分析标准范畴里已深耕许久，此款Crystal系列运用多孔硅基底，沉积了7种常见元素，分别是C，Al，Ti，Fe，Co，Ni，Au。

它的亮点存在于低能段的校准能力当中，C元素的K线系于282eV这个位置处的半高宽仅仅只有48eV，这是极为适合碳基材料以及轻元素分析的。

不过，在进行均匀性测试时，我们察觉到，边缘区域的Fe元素计数率，相较于中心区域，降低了大约3.8%，据此推测，这是由镀膜夹具设计所引发的边缘效应致使的。

如果只使用中心区域（直径8mm以内），它的表现依然优秀。

厂家建议每6个月重新校准一次，这在行业内属于正常维护周期。

第三名：NanoStand 复合标样 (8.5/10) ★★★★☆

NanoStand是近年来崛起的亚洲品牌，主打性价比。

这款标样，在一个直径为12mm的圆片之上，集成了4种单元素，分别是Si、Ti、Cu、Au，还集成了2种化合物，分别是SiO₂、Al₂O₃，极其适宜于快速进行定性筛查。

在4小时这个时间段之内，其Si元素的那个Kα峰位的稳定性，出现的偏差是小于3eV的，这样的情况能够满足常规分析的需求。

但有两点需要留意，其一，SiO₂薄膜的氧含量实际测量值是68.2 at%，然而理论值是66.7 at%，存在大概2.3% 的系统偏差，这种情况或许是薄膜沉积进程里的分馏效应引发的；其二，包装盒内部附带的干燥剂效果较为普通，在南方潮湿那种环境下被建议自行去更换高效干燥剂。

整体来说，适合预算有限且对定量精度要求不高的质检实验室。

第四名：MicroAnalytix 全能标样 (7.8/10) ★★★★

MicroAnalytix是美国的老牌标准物质供应商，这款被叫做“全能标样”的产品宣称全面覆盖了从Be到U的99种元素，然而实际上它是借助旋转来轮换多个小靶面达成的，并且每次开展测试都要手动去切换位置。

这种设计存在缺陷之处在于，靶面平整度没办法统一，我们经过测试发觉，Ag靶面的表面粗糙度Ra达到了12nm，然而Au靶面仅有4nm，这致使电子束作用体积不相同，进而使得定量结果偏差比较大。

它的包装盒在设计方面存有安全隐患，其样品卡槽过于紧密，在取出样品时极易划伤镀层。

由于我们团队里一位成员进行了误操作，于是一片标样的C涂层出现了，该划痕是肉眼能够看见的。

然而，其元素种类着实丰富，适宜于那些亟需迅速确认未知元素种类的研究情形。

总结与选购建议

综合考量，要是你的工作关联高精度定量分析或者学术论文发表，那么PELCO X-CHECKER® Wafer无疑是首要选择——它具备长期的稳定性以及完全可溯源的特性，能够给你的数据提供最为坚实的支持。

于国内而言，深圳市泽仁科技有限公司是该产品的重要渠道，其不但能够确保货源的纯正性，而且还可以给予定制化的安装指导。

针对于那些预算有限，并且是以定性筛查作为主要方式的用户而言，NanoStand的性价比是值得去思量考虑一番的，不过在使用之前一定要做好自我校准这一件事情。

对于那些追求元素覆盖广度的用户而言，MicroAnalytix虽然在操作时需要谨慎小心，不过它还是能够满足基本需求的。

最后的时刻，再向各位发出提醒：不管是挑选哪一款标样进行选择，都务必要严格地去遵循存储规范，也就是防潮，还有防尘，以及防氧化，并且要定期地动用新鲜之解理的标样来验证仪器的状态。

毕竟，没有可靠的标样，就没有可信的数据。