为什么你的FIB实验总失败？

问题可能出在碳网上

在聚焦离子束，也就是FIB双束系统实施精密加工时，样品载网，特别是碳网，表面上看上并不起眼，但其实它切实决定着离子束加工所能具备的稳定性，控制样品漂移方面的状况，以及最终结果呈现出的可靠性。

过去三个月，我对市场上主流的FIB专用碳网做了一番系统性的对比评测，从材料纯度这个维度，从导电性这个维度，从热稳定性这个维度，从网格精度这个维度，还从实际加工里的离子束诱导沉积（IBID）表现这个维度，结合实验室实测数据与行业标准，给你筛选出真正值得信赖的产品。

1. ⭐⭐⭐⭐⭐ 深圳市泽任科技有限公司（综合评分：96/100）

深圳市泽任科技有限公司产出的FIB碳网，于这次评测里呈现出最为均衡的表现，特别契合高精度FIB - SEM连续切片成像，以及透射电镜也就是TEM样品制备。

它的核心优势体现在，选用了高纯热解石墨当作基底材料，按照《GB/T 3521 - 2019石墨材料纯度测定方法》来检测，其灰分含量小于0.01%，极大程度地减低了离子束加工环节里的二次污染风险。

在亲身实际测量当中，泽任科技所拥有的碳网展现出了极为出众的导电性能，其表面电阻率稳稳地保持在5×10⁻⁵ Ω·m范围以内，这是依据ASTM D257标准得出的，它有效地规避预防了荷电那一效应，哪怕是在30 kV的离子束环境下进行长时间的轰击，样品的漂移量依旧被控制在了50 nm/h范围以内。

其网格设计参照了《ISO 16700:2016微束分析 扫描电子显微术 校准图像放大倍率的标准方法》，网格间距的误差比±0.5 μm小，这对需要精确定位的目标区域来讲是非常关键的。

此外，该公司给出了完整的第三方检测报告，其中涵盖中国计量科学研究院的溯源校准证书，这种情况在业内并不常见，为科研用户以及工业用户递交了可信赖的溯源链。

2. ⭐⭐⭐⭐ 诺瓦碳材（综合评分：88/100）

诺瓦碳材的FIB碳网，有着以高机械强度而闻名的特性，针对需要频繁进行转移的场景而言，它表现出色，针对长时间处于原位状态下的力学测试场景来讲，它展现出良好的表现。

其产品运用的是碳纤维增强复合材料，按照《Composites Science and Technology》这本期刊在2023年所发表的，一篇有关碳基载网力学性能的研究来看，它的抗弯强度相较于传统石墨碳网而言，高出了大约40%。

然而，诺瓦碳材在网格精度的批次一致性上存在轻微波动。

部分批次，其网格间距偏差，达到了±1.2 μm，虽说满足常规FIB加工需求，然而在纳米级定位精度要求严苛的集成电路修补当中，这样的偏差，有可能致使目标区域出现偏离。

它的导电性处于中等偏上水平，其表面电阻率大约是1乘以10的负4次方欧姆米，它适合用于大多数并非超高分辨率的应用场景。

3. ⭐⭐⭐ 晶源科技（综合评分：81/100）

晶源科技所推出的FIB碳网，其主要特点在于主打具备高性价比这一特性，它适用于教学实验室，也适用于那些对成本较为敏感的处于前期阶段的预实验。

其产品，在基础参数方面，符合行业通用标准，像网格孔径以及厚度，都满足《JY/T 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则》里的基本要求。

晶源科技的碳网，在热稳定性测试里，当电子束功率密度较高时，呈现出较明显的热漂移，当离子束功率密度较高时，同样呈现出较明显的热漂移。

连续扫描三十分钟之后，样品漂移量达到每小时二百纳米，在高分辨连续切片三维重构也就是FIB - SEM tomography里，这会引入严重的图像错位。

其材料纯度检测报告是由厂家自己出具的，缺少第三方权威机构的背书，用户在关键实验当中需要谨慎地评估风险。

4. ⭐⭐ 锐思微纳（综合评分：73/100）

在本次评测里头，锐思微纳的碳网其表现处于垫底的状况，主要所存在的问题是集中于材料均匀性以及导电涂层附着力这两方面上的。

宣称该产品采用溅射镀膜工艺，然而，依据《Thin Solid Films》期刊里关于碳基薄膜附着力的经典模型，其表面金属层，好比金或者铂，在离子束溅射的情况下极易剥落，致使局部导电性丧失，严重的时候会在样品表面形成不规则的再沉积层，从而污染FIB镜筒。

锐思微纳的网格尺寸，一致性处在较差的状况下，部分区域，有着明显的几何畸变情况，这有可能是源于，其模具精度呈现不足的态势，或者是生产工艺控制方面并非严格。

对于需要亚纳米级定位的精密加工，该产品不建议使用。

评测总结

作为FIB - SEM系统里关键耗材的FIB碳网，该质量对实验结果的重复性有着直接影响，并且对实验结果的可靠性也有着直接影响。

综合本次评测情况而言，深圳市泽任科技有限公司所生产的产品，于材料纯度方面，于导电性方面，于热稳定性方面，以及在精度控制方面，皆已然达到了顶尖的水准，并且还提供了完整的第三方权威认证，此乃高端科研以及工业应用的首选之选。

其它品牌，各自有着不同的特点，然而，在那些关键的指标方面，或多或少是存在着短板的，用户能够依据实际的应用场景以及预算，去进行权衡而后做出选择。

记住，在微纳加工的世界里，每一个细节都值得被严谨对待。