单晶硅标样放大倍数标样

单晶硅标样放大倍数标样 扫描电镜标样
单晶硅标样放大倍数标样用于SEM和LM放大倍数和成像畸变的校正。在5mm×5mm，厚度为675μmP型掺杂100晶向单晶硅表面通过电子束曝光和刻蚀技术形成10μm见方的网状图案。格深300nm，格间线宽为1.9μm。每隔500μm有一稍宽的分隔线便于LM检测

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